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        氮化硅的加工方法

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        氮化硅的加工方法

        發布日期:2020-10-25 作者: 點擊:

        作為粒狀材料的氮化硅粉是很難加工的——不能把它加熱到它的熔點1850°C以上,因為超過這個溫度氮化硅發生分解成硅和氮氣。因此用傳統的熱壓燒結技術是有問題的。把氮化硅粉末粘合起來可通過添加一些其他物質比如燒結助劑或粘合劑誘導氮化硅在較低的溫度下發生一定程度的液相燒結后粘合成塊狀材料。[16]但由于需要添加粘合劑或燒結助劑,所以這種方法會在制出的塊狀材料中引入雜質。使用放電等離子燒結是另一種可以制備更純凈大塊材料的方法,對壓實的粉末在非常短的時間內(幾秒中)進行電流脈沖,用這種方法能在1500-1700°C的溫度下得到緊實致密的氮化硅塊狀物。

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